賽默飛已設(shè)計生產(chǎn)了特定大小的微粒用來校準(zhǔn)用于半導(dǎo)體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測系統(tǒng)(SISS)。
通過與儀器生產(chǎn)商合作，研發(fā)生產(chǎn)出Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)系列產(chǎn)品以滿足SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則要求。可提供的微粒尺寸包括半導(dǎo)體國際技術(shù)藍圖 (ITRS)1定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點的大小。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)，粒度標(biāo)準(zhǔn)簡化校準(zhǔn)晶片的制備，用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準(zhǔn)和維護。可用的粒徑對應(yīng)于儀器制造商要求的校準(zhǔn)點尺寸。
特點：
Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)
標(biāo)稱直徑
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